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真空快速退火爐

更新時間: 2024-03-21

訪問次數: 4511

產品報價:

產品簡介: 真空快速退火(huo)爐操作便捷,電(dian)熱元件(jian)采(cai)用紅外(wai)燈管(guan),升溫速度快,節省時間,滑動(dong)法蘭使(shi)裝卸樣(yang)品過程(cheng)簡化,方便操作,可快速得(de)到實驗結(jie)果,取(qu)消了反復的(de)法蘭安裝過程(cheng),減少了爐管(guan)因安裝造成的(de)損壞(huai)。

詳細資料:

真空快速退火爐產品特點:

1 控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。

2 氣路快速連接法蘭結構采用本公司*的知識產權設計,提高操作便捷性。

3 中真空系統具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統采用高壓強,耐沖擊分子泵防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統使用壽命。

產品組成:

此款CVD系統配置:

1.1200度開啟式真空管式爐(可選配單溫區、雙溫區)。

2.多路質量流量控制系統

3.真空系統(可選配中真空或高真空)  

真空快速退火爐技術參數:

產品名稱(cheng)

RTP系列-滑動式快速退火爐

產品(pin)型號

RTP-G06123K-H

額定功率

9KW

額定電壓(ya)

220AC 50/60Hz

極限溫(wen)度

1000℃

連(lian)續工作

950℃(<1 小(xiao)時(shi))

加熱區長度

250mm

恒溫(wen)區(qu)長度(du)

200mm

加熱元件

紅外燈管

溫(wen)度控制

國產程序控溫系統可編程50段程序控溫;

控(kong)制精度

±1℃

石英管尺寸

Φ60/Φ80/Φ100mm

爐(lu)管材質(zhi)

石英管

滑動距離(li)

300mm

大降溫速度

900~200℃的降溫速度:15min

zui快升溫速度

50oC/S

滑動(dong)控制

由(you)溫度(du)控(kong)制器自動控(kong)制爐(lu)體(ti)移(yi)動.  當程序完(wan)成,爐(lu)體(ti)按設定的(de)速度(du)滑動。

流量計

浮子流(liu)量(liang)計60-600ml/min

滑軌尺(chi)寸

360 x1300x265mm

外形(xing)尺寸

360x385x595mm

重(zhong)量

85Kg

標準配置

氣路總成一(yi)套(含(han)真空壓力表)石英管一(yi)支(zhi)、石英堵三個(ge)、鉤子(zi)一(yi)把、高(gao)溫(wen)手(shou)套一(yi)副(fu)。


 

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