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當您在使用RTP快速退火爐時，這些事項必須時刻注意！
更新時間：2022-07-20 點擊次數：2546
RTP快速退火(huo)(huo)爐主要適用(yong)于不銹(xiu)鋼(gang)(gang)(gang)拉深件如(ru)水暖器材(cai)、水脹件、銷(xiao)、醫(yi)療(liao)器械、不銹(xiu)鋼(gang)(gang)(gang)釘(ding)、不銹(xiu)鋼(gang)(gang)(gang)鏍絲、壓鉚件、不銹(xiu)鋼(gang)(gang)(gang)軸承、表(biao)殼、表(biao)帶、刀具(ju)、微型(xing)軸、自(zi)攻自(zi)鉆、餐(can)具(ju)等不銹(xiu)鋼(gang)(gang)(gang)制(zhi)品在保護氣氛控制(zhi)下進(jin)行連續光(guang)亮退火(huo)(huo)、固(gu)溶、退磁(ci)及不銹(xiu)鋼(gang)(gang)(gang)淬火(huo)(huo)處理的多用(yong)爐。處理后產(chan)品表(biao)面(mian)光(guang)潔，不氧化，不脫碳。具(ju)有生產(chan)效率(lv)高(gao)，能耗低，污染少，操作使用(yong)方便(bian)，勞動強度低等優(you)點.也可供(gong)金屬材(cai)料釬焊，燒(shao)結之用(yong)。系引進(jin)消化國外90年初(chu)產(chan)品。
RTP快(kuai)速退火爐技術特點：
RTP快速退火爐廣泛應用在IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導體和功率器件等多種芯片產品的生產。和歐姆接觸快速合金、離子注入退火、氧化物生長、消除應力和致密化等工藝當中，通過快速熱處理以改善晶體結構和光電性能，具有技術指標高、工藝復雜、性強的特點。
快(kuai)速(su)退火爐的使(shi)用注意事項：
1.爐(lu)(lu)子(zi)使用(yong)或(huo)長時間不(bu)用(yong)后，要在(zai)120℃左右烘(hong)烤1小時，在(zai)300℃左右烘(hong)烤2小時后使用(yong)，以免(mian)造成爐(lu)(lu)膛(tang)開(kai)裂。爐(lu)(lu)溫(wen)盡量不(bu)要超過額(e)定(ding)溫(wen)度，以免(mian)損壞(huai)加熱元件(jian)及爐(lu)(lu)襯。禁(jin)止(zhi)向爐(lu)(lu)膛(tang)內直接(jie)灌(guan)注各種液體及溶解金屬，保持爐(lu)(lu)內的(de)清潔。
2.爐膛若采(cai)用石英管，當溫(wen)度高(gao)于(yu)1000℃時，石英管的高(gao)溫(wen)部分會(hui)出現不透明現象，這叫(jiao)失透(又(you)叫(jiao)析晶性)是(shi)連熔石英管的一(yi)個固(gu)有缺(que)陷，屬正常現象。
3.冷爐使用時(shi)，由于爐膛是冷的(de)(de)，須大量(liang)吸(xi)熱，所以(yi)(yi)低(di)溫(wen)段升溫(wen)速率(lv)不(bu)易過(guo)快，各溫(wen)度段的(de)(de)升溫(wen)速率(lv)差別不(bu)易太大，設置升溫(wen)速率(lv)時(shi)應充分考慮所燒結(jie)材(cai)料的(de)(de)物理化學性質(zhi)，以(yi)(yi)免出(chu)現噴料現象，污染爐管(guan)。
4.定期檢查溫度控制系統的電器連(lian)接(jie)(jie)部分(fen)的接(jie)(jie)觸是否良(liang)好，應特別注意(yi)加熱元件的各連(lian)接(jie)(jie)點的連(lian)接(jie)(jie)是否緊(jin)固。
5.爐(lu)子使用過一段時間(jian)后，若真空(kong)度降低(di)，可分別(bie)更(geng)換不(bu)(bu)銹鋼法蘭盤(pan)之間(jian)的耐(nai)溫硅(gui)膠圈(quan)或重新(xin)安(an)裝不(bu)(bu)銹鋼法蘭盤(pan)或更(geng)換修理真空(kong)系統，以提高系統的整體真空(kong)度。
6.爐子在(zai)工(gong)作過程(cheng)中，一般在(zai)300℃左(zuo)右若控制偏差還不能消除，出現溫度顯示值與程(cheng)序(xu)給定值不符或擺動過大，檢查參數“M5、P、t”設置是否(fou)。
