RTP快速退火爐

更新時間： 2024-03-21

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產品報價：

產品簡介： RTP快(kuai)速(su)(su)退火爐(lu)操作便(bian)捷，電熱元件采用紅外燈管，升溫(wen)速(su)(su)度快(kuai)，節省時間，滑(hua)動法(fa)蘭使裝卸樣品(pin)過程(cheng)簡(jian)化，方便(bian)操作，可快(kuai)速(su)(su)得到實驗結果，取消了(le)反(fan)復的法(fa)蘭安(an)裝過程(cheng)，減(jian)少了(le)爐(lu)管因安(an)裝造成的損壞。

詳細資料：

RTP快速退火爐產品用途：

此款CVD生長系統適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。

RTP快速退火爐產品組成：

此款CVD系統配置：

1.1200度開啟式真空管式爐（可選配單溫區、雙溫區）。

2.多路質量流量控制系統

3.真空系統（可選配中真空或高真空）

產品特點：

1 控制電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單。

2中真空系統具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統采用高壓強，耐沖擊分子泵

防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長系統使用壽命。

產品名(ming)稱(cheng)	RTP系列-滑動(dong)式(shi)快(kuai)速(su)退火(huo)爐
產(chan)品型號	RTP-G06123K-H
額(e)定功率(lv)	9KW
額定電壓(ya)	220AC 50/60Hz
極限(xian)溫(wen)度	1000℃
連續(xu)工作(zuo)	950℃(<1 小時(shi))
加熱區長度	250mm
恒溫區長度	200mm
加熱元件	紅外燈管
溫度(du)控制	國產(chan)程序控(kong)溫系(xi)統(tong)可編程50段程序控(kong)溫；
控(kong)制精(jing)度	±1℃
石(shi)英管尺寸	Φ60/Φ80/Φ100mm
爐管材質(zhi)	石英管(guan)
滑動距(ju)離	300mm
大(da)降溫速度	900~200℃的降溫速度:15min
zui快升(sheng)溫速度	50oC/S
滑動控制	由溫度控(kong)制器自動控(kong)制爐體移(yi)動. 當程序完成，爐體按設定的(de)速度滑動。
流量計	浮子(zi)流量計60-600ml/min
滑軌尺寸	360 x1300x265mm
外形尺寸	360x385x595mm
重量(liang)	85Kg
標準配(pei)置	氣路總成一(yi)(yi)套（含真空(kong)壓力表(biao)）石(shi)英(ying)管(guan)一(yi)(yi)支、石(shi)英(ying)堵三(san)個(ge)、鉤(gou)子一(yi)(yi)把、高溫手套一(yi)(yi)副。