相關文章 / Related articles
1200℃雙管滑動式單溫區/多溫區CVD系統
更新時間： 2024-03-21
訪問次數： 4811
產品報價：
產品簡介： 產品用(yong)(yong)途：此款CVD系統是(shi)專(zhuan)門(men)為在(zai)金屬箔上生長薄膜而(er)設計(ji)，特別是(shi)應用(yong)(yong)在(zai)新一代(dai)能源(yuan)關于柔性金屬箔電極方面的研(yan)究，通過滑動爐實現快速加熱和(he)冷卻。
詳細資料：
產品用途：
此(ci)款CVD系統是專門為在金屬(shu)箔上生長薄膜(mo)而設計，特別是應用在新一代(dai)能源(yuan)關于柔(rou)性金屬(shu)箔
電(dian)極方(fang)面(mian)的研究，通過滑動爐實(shi)現(xian)快速(su)加熱和(he)冷卻。
產品組成：
CVD系統配置：
1.1200度(du)開啟式真空管式爐（可選配單溫(wen)區及雙溫(wen)區）。
2.滑(hua)(hua)動(dong)(dong)系(xi)統(tong)分為(wei)手動(dong)(dong)、電(dian)動(dong)(dong)滑(hua)(hua)動(dong)(dong)，并配有風冷系(xi)統(tong)。
3.內外雙(shuang)石英管(guan)，采用(yong)真空可通(tong)氣(qi)氛雙(shuang)法蘭特(te)殊連接。
4.多路氣體流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)系統(tong)（質(zhi)子(zi)(zi)流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)和浮(fu)子(zi)(zi)流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)）
5.真(zhen)空系統(tong)（可選(xuan)配中真(zhen)空或高真(zhen)空）
產品特點：
產品*性
1 控(kong)制電(dian)路選用模糊PID程控(kong)技(ji)術，該(gai)技(ji)術控(kong)溫精度高，熱慣性小(xiao)，溫度不過沖，性能可(ke)靠(kao)，操(cao)作(zuo)簡單(dan)。
2中真空系統具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統采用高壓強，耐沖擊分子泵，防止意外漏氣造成分子泵損壞(huai)，延長系統使(shi)用壽命。
3 (電動)滑動系統采用溫度控制器自動控制爐體移動，等程序完成，爐體按設定的速度滑動，因有滑動限位功能，爐體不會發生碰撞，待樣品露出爐體后，通過風冷(leng)系統快速(su)降溫。
4 雙管(guan)真空(kong)密封法蘭，反應(ying)氣體(ti)(ti)可(ke)以在內外管(guan)之間發生反應(ying)，冷(leng)卻氣體(ti)(ti)可(ke)通過內管(guan)，從而使(shi)內管(guan)外壁溫度降低。
系統名稱 | 1200℃雙管滑動式單/多溫區CVD系(xi)統 | |
系統型號 | CVD-12II6SH-3Z/G | CVD-12III9SH-3Z/G |
極限溫度 | 1200℃ | |
加熱區長度 | 610mm | 940mm |
恒溫區長度 | 400mm | 700mm |
溫區 | 雙溫區 | 三溫區 |
石英管管徑 | 內管：Φ80mm 外管：Φ100mm | |
額定功率 | 4.8Kw | 7.2Kw |
額定電壓 | 220V | 380V（三相） |
滑動距離 | 485mm | 650mm |
滑動方式 | 手動(dong)(dong)滑(hua)動(dong)(dong)/自動(dong)(dong)滑(hua)動(dong)(dong)(由溫度控制器自動(dong)(dong)控制移(yi)動(dong)(dong)，當程序完成，爐子按設定的速度滑(hua)動(dong)(dong)） | |
溫度控制 | 國產程(cheng)序控溫(wen)系(xi)統50段程(cheng)序控溫(wen)； | |
控制精度 | ±1℃ | |
爐管極限工作溫度 | ＜1200℃ | |
雙管法蘭連接 | 采用(yong)雙(shuang)法蘭(lan)雙(shuang)卡箍連接可擴展多功能，并且分別(bie)獨(du)立對內(nei)管(guan)(guan)(guan)和(he)外(wai)管(guan)(guan)(guan)進行(xing)真(zhen)空和(he)氣體流量控(kong)制.密(mi)封法蘭(lan)與管(guan)(guan)(guan)件連接的地(di)方采用(yong)多環密(mi)封技(ji)術，在(zai)密(mi)封法蘭(lan)與管(guan)(guan)(guan)外(wai)壁間形成了密(mi)封，在(zai)管(guan)(guan)(guan)件外(wai)徑(jing)誤差較大(da)的情況(kuang)下密(mi)封仍(reng)然有效，該密(mi)封法蘭(lan)的安裝只需在(zai)*使用(yong)設備的時候安裝 | |
氣體控制方式 | 質量流量計 | |
氣路數量 | 3路(lu)（可根據具體(ti)需要選配氣路(lu)數量） | |
流量范圍 | 0-500sccm(標準毫(hao)升/分，可選配）氮(dan)氣標定 | |
精度 | ±1%F.S | |
響應時間 | ≤4sec | |
工作溫度 | 5-45℃ | |
工作壓力 | 進(jin)氣壓(ya)力0.05-0.3Mpa(表壓(ya)力） | |
系統連接方式 | 采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shu)顯真空測(ce)量儀 | |
規格 | 高真空 | |
系統真空范圍 | 1x10-3Pa-1x10-1Pa | |
真空泵 | 真空分子泵理論極限真空度 | |
爐體外形尺寸 | 480×770×605mm | 410×1100×605mm |
系統外形尺寸 | 530×1440×750mm(不含高真空) | |
系統總重量 | 340Kg | |
| 如果你對該產品感興趣，想了解更詳細的產品信息，填寫下表直接與廠家聯系： |
