系統(tong)型號

PECVD-12IH-500A

PECVD-12IH-4Z/G

控制(zhi)方式(shi)

液晶(jing)屏微PLC控制(zhi)系統

手動

極限(xian)溫度

1200℃

加熱區長度

200mm

恒(heng)溫區長度(du)

100mm

溫區

單溫區

石(shi)英管管徑(jing)

Φ60mm

Φ50mm

額定功(gong)率(lv)

1.2Kw

2Kw

額定電壓

220V

滑動方式及(ji)距離

自動滑動;200mm

手動(dong)滑動(dong);200mm

溫(wen)度控制

30段(duan)程序控溫(wen)

50段程(cheng)序控溫(wen)

控制精度

±1℃

爐(lu)管極(ji)限工(gong)作(zuo)溫(wen)度

＜1200℃

氣(qi)路法蘭

采用多環密封(feng)技術(shu)卡箍快速連接

排風冷卻裝置

的空氣隔熱(re)技(ji)術，結合熱(re)感應技(ji)術，當爐體表面(mian)溫升到50℃時，

排(pai)溫風扇將自動啟(qi)動，使爐體表面快(kuai)速降溫。

氣體控制方式

質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計(ji)（按鍵式(shi)）

氣路數量

2路（2-4路）

4路（可根據具體(ti)需要選(xuan)配(pei)氣路數量）

流(liu)量范圍

0-500sccm(標準毫升/分，可選(xuan)配）氮氣(qi)標定

精度

±1%F.S

響應(ying)時間

1sec

工作溫度（流量計(ji)）

20-120℃

工作(zuo)壓(ya)力(li)

進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力(li)）

進氣方(fang)式

采用(yong)防倒流設(she)計

規(gui)格(ge)

中真空(kong)（集成型請單獨購買(mai)）

系統真空范圍

10Pa-100Pa

真空泵

雙級(ji)機(ji)械泵(beng)理論極限真空(kong)度(du)3x10^-1Pa，抽氣速率4L/S（選配(pei)：其(qi)他抽速真空泵）,出氣口(kou)配有油(you)污過濾(lv)器，額定電壓220V，功率0.55Kw

信號頻率

13.56MHz±0.005%

功率輸(shu)出范圍(wei)

0W-500W

0W-100W

大反射功率

350W

30W

射頻輸出接口

50Ω，N-type,temale

功率穩定度

±0.1%

諧(xie)波分量

≤-50dbc

供電(dian)電(dian)壓

單相交(jiao)流（187V-253V)頻率50/60HZ

整機功率(lv)

≥70%

屏(ping)幕顯示

正方向功率，匹(pi)配(pei)器電容位置(zhi)，偏置(zhi)電壓值

爐體外(wai)形尺寸

290×350×340mm

290×350×495mm

系統外形尺(chi)寸

420×1440×1100mm

530×2310×750mm

系統總(zong)重量

270Kg