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立式管式電(dian)爐公(gong)司采用(yong)化(hua)技術，自行(xing)研(yan)制(zhi)開發的(de)高性能高節能的(de)新型電(dian)爐，產品(pin)具有的(de)合理(li)結構，廣泛應用(yong)在(zai)薄膜生(sheng)長、電(dian)極測試、氧化(hua)物晶體生(sheng)長、退火等新工藝領域。配合真(zhen)空(kong)和氣路(lu)控制(zhi)組成CVD控制(zhi)系(xi)統，用(yong)于(yu)氣相沉積法制(zhi)備石墨烯

一、操作(zuo)便(bian)捷性(xing)；1、氣(qi)路(lu)連接方(fang)(fang)式采(cai)用了快速連接法蘭(lan)(lan)結構。2、使取放物料(liao)過(guo)程簡(jian)化，只需一支卡箍便(bian)可(ke)(ke)完成氣(qi)路(lu)連接，方(fang)(fang)便(bian)操作(zuo)。3、取消了復(fu)雜的法蘭(lan)(lan)安(an)裝(zhuang)過(guo)程，減少了爐管因安(an)裝(zhuang)造成損壞的可(ke)(ke)能(neng)。

操(cao)(cao)作(zuo)便(bian)捷性；1、氣路連接方(fang)式采用(yong)了快速連接法蘭結構。2、使取(qu)放物料過(guo)程(cheng)(cheng)簡化，只需一支卡箍便(bian)可(ke)完成氣路連接，方(fang)便(bian)操(cao)(cao)作(zuo)。3、取(qu)消了復雜的法蘭安(an)裝(zhuang)過(guo)程(cheng)(cheng)，減少了爐管因安(an)裝(zhuang)造(zao)成損壞的可(ke)能。

立式單溫(wen)區1400℃管式電(dian)(dian)爐(lu)，1200度(du)立式管能夠實現在真(zhen)空或氣氛保護條件下對樣品快(kuai)速加(jia)熱(re)和淬火，50段可(ke)編(bian)程(cheng)溫(wen)度(du)控制器。加(jia)熱(re)爐(lu)膛有左右兩部分組成，其(qi)中上部爐(lu)膛可(ke)整體向(xiang)后翻轉，方便取放(fang)、觀察實驗物料，爐(lu)膛材料采用(yong)的多晶(jing)莫來纖(xian)維(wei)真(zhen)空吸附制成，節能50%，溫(wen)場均勻。電(dian)(dian)熱(re)元(yuan)件采取高(gao)電(dian)(dian)阻合金絲0Cr27Al7Mo2。密(mi)封(feng)法蘭采用(yong)雙(shuang)環密(mi)封(feng)技術，有效的提(ti)高(gao)了爐(lu)管兩端的氣密(mi)性。