相關文章 / Related articles
CVD管式爐
更新時間： 2024-03-21
訪問次數： 5317
產品報價：
產品簡介： CVD管式爐設備(bei)由沉積溫度控(kong)件、沉積反應室、真空控(kong)制(zhi)部(bu)件和氣源(yuan)控(kong)制(zhi)備(bei)件等部(bu)分組成亦可根據用(yong)戶需要設計生產，CVD系統除了主(zhu)要應用(yong)在碳納(na)米(mi)材料(liao)制(zhi)備(bei)行(xing)(xing)業外，現在正在使用(yong)在許多行(xing)(xing)業，包(bao)括納(na)米(mi)電子學、半導體、光(guang)電工程的研發(fa)、涂(tu)料(liao)等領域。
詳細資料：
CVD管式爐此款CVD生長系統適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。
產品組成：
此(ci)款CVD系(xi)統配(pei)置：
1.1200度開啟(qi)式真空(kong)管(guan)式爐(lu)（可(ke)選配(pei)單溫(wen)區(qu)、雙溫(wen)區(qu)）。
2.多路質量流量控(kong)制系統
3.真(zhen)(zhen)空系統（可選配中真(zhen)(zhen)空或高(gao)真(zhen)(zhen)空）
CVD管式爐產品特點：
1 控制電路選用模糊(hu)PID程控技術，該(gai)技術控溫精度高，熱慣性(xing)(xing)小，溫度不(bu)過沖，性(xing)(xing)能可靠，操作簡單。
2 氣路快速(su)連接法蘭結構(gou)采用本(ben)公司*的知識產權設計,提高操作便捷性。
3 中真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)系(xi)(xi)統(tong)具有真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度上下(xia)限(xian)自動控制(zhi)功能，高真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)系(xi)(xi)統(tong)采(cai)用高壓強，耐沖(chong)擊分子泵防(fang)止意(yi)外(wai)漏氣造成分子泵損壞，延長系統使(shi)用壽命。
技(ji)術參數：
系統名(ming)稱 | 1200℃單(dan)/雙(shuang)溫區CVD系統 | |
系統型號 | CVD-12II-3Z/G | CVD-12II6-3Z/G |
極限溫度 | 1200℃ | |
加熱區(qu)長度 | 420mm | 600mm |
恒溫區長度 | 280mm | 390mm |
溫(wen)區 | 雙溫區 | 雙溫區 |
石英管管徑 | Φ50/Φ60/Φ80mm | Φ80/Φ100mm |
額定功率 | 3.2Kw | 4.8Kw |
額定電壓 | 220V | |
溫度(du)控(kong)制 | 國(guo)產(chan)程序(xu)控溫系(xi)統50段程序(xu)控溫； | |
控(kong)制精度 | ±1℃ | |
爐(lu)管(guan)極限(xian)工作溫度 | ＜1200℃ | |
氣路法蘭(lan) | 密封(feng)法(fa)蘭與管件連接的地方采(cai)用多環密封(feng)技(ji)術，在密封(feng)法(fa)蘭與管外壁間(jian)形成了密封(feng)，在管件外徑誤差較大的情況下密封(feng)仍然(ran)有效，該密封(feng)法(fa)蘭的安裝(zhuang)只需在*使用設備的時候安裝(zhuang) | |
氣體控制(zhi)方式 | 質量流量計 | |
氣路數量 | 3路（可根據具體需要選配氣路數量） | |
流量范圍 | 0-500sccm(標(biao)準(zhun)毫升/分(fen)，可選配(pei)）氮氣標(biao)定 | |
精度(du) | ±1%F.S | |
響(xiang)應(ying)時間 | ≤4sec | |
工作溫度 | 5-45℃ | |
工作壓力 | 進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力） | |
系統(tong)連接方式 | 采用KF快速(su)連接波紋管(guan)、高真空(kong)手動擋(dang)板閥及數顯真空(kong)測量儀 | |
規格 | 高真(zhen)空 | |
系統真空范圍(wei) | 1x10-3Pa-1x10-1Pa | |
真空泵 | 真空分子泵理論極限真空度(du)5x10-6Pa抽(chou)氣速(su)度(du)1200L/S額定電壓220V 功率2KW | 真(zhen)空(kong)分子泵理論極限真(zhen)空(kong)度(du)5x10-6Pa抽氣速度(du)1600L/S額定電(dian)壓(ya)220V 功率(lv)2KW |
| ||
| ||
爐體(ti)外形尺寸 | 340×580×555mm | 480×770×605mm |
系統(tong)外形尺寸 | 530x1440x750mm(不含高真空) | |
系統(tong)總重量 | 330kg | |
| 如果你對該產品感興趣，想了解更詳細的產品信息，填寫下表直接與廠家聯系： |
