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CVD管式爐是由哪些部件組成的？分別又有什么功能？
更新時間：2022-06-28 點擊次數：3690
近年(nian)來(lai)，隨著(zhu)儀器(qi)行業的不(bu)斷發(fa)展(zhan)，CVD管式爐在市場上(shang)得到了(le)快(kuai)速(su)地(di)發(fa)展(zhan)。由于(yu)其突出的表現，受到了(le)廣泛(fan)用(yong)戶的青睞。目前本產品可以廣泛(fan)地(di)應用(yong)于(yu)納米電子學(xue)、半導體(ti)、光(guang)電工程的研發(fa)、涂料等領域，下面我們就來(lai)具體(ti)的了(le)解一下這款儀器(qi)！
CVD管式(shi)爐與(yu)普(pu)通設(she)備完整不同。此外，由于直接著火，任何走漏都可能(neng)招致(zhi)爆炸或(huo)火災，這也是非消防設(she)備無法比較的。 加(jia)熱式(shi)管式(shi)爐的爐管壁溫(wen)為400-650℃，加(jia)熱反響(xiang)式(shi)管式(shi)爐（氫轉化(hua)爐）的壁溫(wen)常常在850-1000℃的范(fan)圍內(nei)。高溫(wen)爐圈接受低工作壓(ya)力，如蒸(zheng)餾爐，普(pu)通1-3mpa，高壓(ya)加(jia)氫爐，高達18-20mpa。
CVD管(guan)式爐(lu)主要由(you)高溫腔體、石(shi)英管(guan)、石(shi)英支架(jia)、氣路系統(tong)、分子泵(beng)機組(zu)、自動化控制系統(tong)、冷卻系統(tong)等組(zu)成(cheng)。
1、沉底(di)材(cai)料可(ke)采用銅箔(bo)、石墨等(deng)；
2、生長腔體采用進口高純石英(ying)管，配石英(ying)支架、為石墨烯等材(cai)料的(de)生長提供潔凈環境；
3、爐膛采用進口高純氧化鋁(lv)多晶體纖(xian)維，不易掉粉、壽命(ming)長且保溫性能好。加熱絲采用摻鉬鐵鉻鋁(lv)合金(jin)加熱絲，溫場均勻(yun)，能耗低；
4、密封法蘭均采(cai)用不銹鋼材質，配水冷套，可連續長時間工(gong)作；
5、氣路系統采用兩路質(zhi)量流量計(可拓展多路)，配預混系統；
6、氣(qi)體種類： He/Ar、C2H2、NH3、N2， H2、PH3、GeH4、B2H6；
7、溫度、氣體、真空(kong)、冷(leng)卻水等通過PLC控制(zhi)(zhi)，通過PC實(shi)時控制(zhi)(zhi)和(he)顯示相關的實(shi)驗(yan)參(can)(can)數(shu)，自動保存實(shi)驗(yan)參(can)(can)數(shu)，也可采(cai)用手動控制(zhi)(zhi)；
8、系統(tong)采用集成(cheng)化設計，控制系統(tong)、混氣(qi)罐(guan)、質量(liang)流量(liang)計等均內置在箱(xiang)體內部，占地(di)面(mian)積小(xiao)。整體安裝四(si)個可移動輪子，方便整體移動。
好了！關(guan)于CVD管式爐(lu)結構特點的講解，今天我們(men)就(jiu)說(shuo)到(dao)這里，希(xi)望您看(kan)完有所收獲，后(hou)期我們(men)也會(hui)陸續(xu)更新。
