系統(tong)型(xing)號

PECVD-12IH-500A

PECVD-12IH-4Z/G

控制方(fang)式

液晶屏微PLC控制系統

手動

極限(xian)溫度

1200℃

加熱區長度(du)

200mm

恒溫(wen)區長度

100mm

溫區

單溫區

石(shi)英管(guan)管(guan)徑

Φ60mm

Φ50mm

額定(ding)功率

1.2Kw

2Kw

額定電壓

220V

滑動(dong)方(fang)式(shi)及(ji)距離

自動滑動;200mm

手動滑動;200mm

溫度控制

30段程序控溫

50段程序控溫

控制(zhi)精度

±1℃

爐管極限工作溫度(du)

＜1200℃

氣路法(fa)蘭

采用多環密封技術卡箍快速連接

排風(feng)冷卻(que)裝置

的(de)空氣隔熱(re)技(ji)(ji)術，結合熱(re)感(gan)應技(ji)(ji)術，當(dang)爐(lu)體表(biao)面溫(wen)升(sheng)到50℃時(shi)，

排溫風扇將自動啟(qi)動，使爐體表面(mian)快(kuai)速降溫。

氣體(ti)控制方式(shi)

質量流量計（按鍵式）

氣(qi)路數量

2路（2-4路）

4路（可根據(ju)具體需(xu)要選配氣路數量）

流量范(fan)圍

0-500sccm(標準毫升/分(fen)，可選配）氮(dan)氣標(biao)定(ding)

精度

±1%F.S

響應時間

1sec

工作溫度（流量計）

20-120℃

工作壓力(li)

進氣壓力(li)0.05-0.3Mpa(表壓力）

進(jin)氣(qi)方式

采(cai)用防倒流設計(ji)

規格(ge)

中真空（集成型請單獨購買）

系統真空范圍(wei)

10Pa-100Pa

真空泵(beng)

雙(shuang)級機械泵理(li)論(lun)極限真空度3x10^-1Pa，抽(chou)氣速率(lv)4L/S（選配：其他抽(chou)速真(zhen)空泵）,出氣口配有油污過(guo)濾(lv)器(qi)，額定電壓220V，功率0.55Kw

信號頻率

13.56MHz±0.005%

功率輸出(chu)范圍

0W-500W

0W-100W

大反射功率(lv)

350W

30W

射(she)頻輸出接口

50Ω，N-type,temale

功率(lv)穩定度

±0.1%

諧波(bo)分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流(liu)（187V-253V)頻率50/60HZ

整機功(gong)率(lv)

≥70%

屏幕顯示

正方向功率，匹(pi)配器電容(rong)位置，偏置電壓值(zhi)

爐體外形尺寸

290×350×340mm

290×350×495mm

系統外形尺寸

420×1440×1100mm

530×2310×750mm

系統總重量

270Kg