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1200℃雙溫區CVD系統
更新時間： 2024-03-21
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產品報價：
產品簡介： CVD管式爐設備(bei)由沉(chen)積溫度控件(jian)、沉(chen)積反應(ying)室、真空控制部件(jian)和(he)氣源控制備(bei)件(jian)等(deng)部分組成亦(yi)可根據用戶需要設計生(sheng)產，CVD系統除了主要應(ying)用在碳納(na)米材料(liao)制備(bei)行業外，現在正在使用在許多(duo)行業，包(bao)括納(na)米電(dian)(dian)子學、半導(dao)體、光電(dian)(dian)工(gong)程的研(yan)發、涂(tu)料(liao)等(deng)領域。
詳細資料：
此款CVD生(sheng)長系統適用(yong)于CVD工藝(yi)，如(ru)碳化硅鍍膜、陶(tao)瓷(ci)基片導電率測(ce)試、ZnO納米結(jie)構(gou)的可(ke)控生(sheng)長、陶(tao)瓷(ci)電容（MLCC）氣氛燒結(jie)等實驗。
產品組成：
此款CVD系統配(pei)置(zhi)：
1.1200度開啟(qi)式(shi)真空管式(shi)爐（可選配單溫區、雙溫區）。
2.多路(lu)質量流量控制系統
3.真空(kong)系統（可選配中真空(kong)或高真空(kong)）
產品特點：
1 控(kong)制電(dian)路選用(yong)模糊PID程控(kong)技術，該技術控(kong)溫精度高，熱慣(guan)性小，溫度不(bu)過沖，性能可靠，操作簡單(dan)。
2 氣路快(kuai)速連接(jie)法蘭結(jie)構采用本公司*的知識(shi)產(chan)權設計(ji),提高操(cao)作便捷性。
3 中真空(kong)系統具有真空(kong)度上下限自(zi)動控制功能(neng)，高(gao)真空(kong)系統采用高(gao)壓強(qiang)，耐(nai)沖擊分子泵
防止意外(wai)漏氣(qi)造成分子(zi)泵(beng)損壞，延長系統使用壽命(ming)。
系統名稱 | 1200℃單/雙(shuang)溫區CVD系統 | |
系統型號 | CVD-12II-3Z/G | CVD-12II6-3Z/G |
極限溫度 | 1200℃ | |
加熱區長度 | 420mm | 600mm |
恒溫區長度 | 280mm | 390mm |
溫區 | 雙溫區 | 雙溫區 |
石英管管徑 | Φ50/Φ60/Φ80mm | Φ80/Φ100mm |
額定功率 | 3.2Kw | 4.8Kw |
額定電壓 | 220V | |
溫度控制 | 國產(chan)程(cheng)序(xu)(xu)控溫系統50段程(cheng)序(xu)(xu)控溫； | |
控制精度 | ±1℃ | |
爐管極限工作溫度 | ＜1200℃ | |
氣路法蘭 | 密封(feng)法(fa)(fa)蘭(lan)與管(guan)件連接的(de)(de)地(di)方采用(yong)多環密封(feng)技(ji)術(shu)，在(zai)密封(feng)法(fa)(fa)蘭(lan)與管(guan)外(wai)壁間形成了密封(feng)，在(zai)管(guan)件外(wai)徑誤差較大的(de)(de)情況下密封(feng)仍(reng)然有效(xiao)，該密封(feng)法(fa)(fa)蘭(lan)的(de)(de)安(an)裝(zhuang)只需(xu)在(zai)使用(yong)設備的(de)(de)時候安(an)裝(zhuang) | |
氣體控制方式 | 質量流量計 | |
氣路數量 | 3路（可根(gen)據具體需要(yao)選(xuan)配氣(qi)路數量） | |
流量范圍 | 0-500sccm(標準毫升/分，可選配）氮氣標定 | |
精度 | ±1%F.S | |
響應時間 | ≤4sec | |
工作溫度 | 5-45℃ | |
工作壓力 | 進氣壓(ya)力0.05-0.3Mpa(表(biao)壓(ya)力） | |
系統連接方式 | 采用KF快速連接(jie)波(bo)紋管、高(gao)真空(kong)手動擋(dang)板閥及數顯真空(kong)測量儀 | |
規格 | 高真空 | |
系統真空范圍 | 1x10-3Pa-1x10-1Pa | |
真空泵 | 真空分(fen)子泵理(li)論極限真空度5x10-6Pa抽氣速度1200L/S額(e)定電壓220V 功率2KW | 真空分子泵理論(lun)極限真空度5x10-6Pa抽(chou)氣速度1600L/S額定(ding)電壓220V 功率(lv)2KW |
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爐體外形尺寸 | 340×580×555mm | 480×770×605mm |
系統外形尺寸 | 530x1440x750mm(不含(han)高真空) | |
系統總重量 | 330kg | |
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