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產品用途:
產品性:
PECVD系統是(shi)借助射頻使含(han)有(you)薄膜組成(cheng)原子(zi)(zi)的氣體(ti)電離,在(zai)(zai)局部(bu)形成(cheng)等離子(zi)(zi)體(ti),而等離子(zi)(zi)體(ti)化學活性很強,很容易發生反應,在(zai)(zai)基(ji)片(pian)上沉積出(chu)所(suo)期望的薄膜。
產品組成:
PECVD系統配置:
1.1200度開啟(qi)式(shi)雙溫區真空管(guan)式(shi)爐
2.等離子射(she)頻電源
3.多路質量(liang)流量(liang)控(kong)制系統
4.真(zhen)空系(xi)統(tong)(可選配中真(zhen)空或高(gao)真(zhen)空)
產品特點:
生長溫度低;沉積速率(lv)快(kuai);成膜(mo)質量好(hao),適(shi)用范圍廣,設備簡單(dan)。
天津(jin)中環電爐股(gu)份(fen)有限公(gong)(gong)(gong)司(si)立于(yu)(yu)1993年,2015年公(gong)(gong)(gong)司(si)進行股(gu)份(fen)制改造,更(geng)名為(wei)天津(jin)中環電爐股(gu)份(fen)有限公(gong)(gong)(gong)司(si)。公(gong)(gong)(gong)司(si)集研(yan)(yan)發(fa)、制造、營銷能(neng)(neng)力(li)于(yu)(yu)一(yi)身(shen),為(wei)眾多(duo)科研(yan)(yan)院(yuan)(yuan)所、大(da)學提供實驗(yan)室(shi)電爐系(xi)統及(ji)服務并(bing)深受(shou)用戶肯定(ding)(ding);以北大(da)、清華、中科院(yuan)(yuan)各院(yuan)(yuan)所等為(wei)代表的(de)(de)(de)客(ke)(ke)戶群體已經超(chao)過一(yi)千家(jia),并(bing)為(wei)客(ke)(ke)戶完成科研(yan)(yan)項(xiang)目做出了自(zi)己的(de)(de)(de)貢(gong)獻。截至到(dao)目前,公(gong)(gong)(gong)司(si)已經成功研(yan)(yan)發(fa)出深受(shou)用戶肯定(ding)(ding)的(de)(de)(de)21個系(xi)列260多(duo)個品(pin)種的(de)(de)(de)產品(pin),同(tong)時公(gong)(gong)(gong)司(si)的(de)(de)(de)研(yan)(yan)發(fa)團隊已具備為(wei)客(ke)(ke)戶量(liang)身(shen)打造特(te)殊需求的(de)(de)(de)實驗(yan)室(shi)電爐系(xi)統的(de)(de)(de)能(neng)(neng)力(li)。二十多(duo)年以來(lai),公(gong)(gong)(gong)司(si)的(de)(de)(de)品(pin)牌在客(ke)(ke)戶的(de)(de)(de)口碑(bei)中得(de)(de)以不斷的(de)(de)(de)成長,同(tong)時在政府(fu)的(de)(de)(de)扶植下取得(de)(de)了可(ke)喜的(de)(de)(de)榮譽。
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