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RTP-小型快速退火爐
更新時間： 2024-03-21
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產品報價：
產品簡介： 產(chan)品(pin)應用(yong)：該電爐采用(yong)紅外燈(deng)管加熱(re)，通過滑動爐體(ti)實現快(kuai)(kuai)(kuai)速降溫。應用(yong)于半導體(ti)或太陽能電池基片退火(huo)。也可用(yong)于快(kuai)(kuai)(kuai)速熱(re)退火(huo)、快(kuai)(kuai)(kuai)速熱(re)氧化、快(kuai)(kuai)(kuai)速熱(re)氮化、硅(gui)化物合金退火(huo)、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火(huo)、薄膜沉積等工(gong)藝(yi)試驗 。
詳細資料：
產品應用：
該電(dian)爐采用(yong)紅外燈管加熱，通過(guo)滑動爐體實現快速降溫。應用(yong)于半導(dao)體或太陽能電(dian)池基片(pian)退(tui)火。也可用(yong)于快速熱退(tui)火、
快速熱氧(yang)化(hua)、快速熱氮化(hua)、硅化(hua)物合金退火、電極合金化(hua)、氧(yang)化(hua)物生(sheng)長、離子注(zhu)入后退火、薄膜(mo)沉積等(deng)工藝試驗
產品特點：
可在真空/氣氛/空氣等不(bu)同環境下(xia)通過快速移動(dong)爐體(ti)，加之強風冷設計(ji)，可對(dui)樣品進行快速升降溫處理；管內(nei)測溫設計(ji)，
溫控精度高,大升溫速(su)率50℃/s;緊湊的臺(tai)式設計(ji)，快(kuai)速(su)連接法蘭，減少了爐(lu)管因安裝造成損壞的可能(neng)，方便操作。
產品名稱 | RTP-小型快(kuai)速(su)退火爐 |
產品型號 | RTP-G11103-K |
額定功率 | 9KW |
額定電壓 | 220AC 50/60Hz |
極限溫度 | 1000°C |
連續工作 | 950°C(<1 小(xiao)時) |
加熱區長度 | 300mm |
恒溫區長度 | 100mm |
加熱元件 | 紅外燈管 |
溫度控制 | 國(guo)產程序控溫系統可(ke)編程50段程序控溫； |
控制精度 | ±1℃ |
石英管尺寸 | Φ110*380MM |
爐管材質 | 石英管 |
滑動距離 | 355mm |
滑動方式 | 手動滑動 |
建議升溫速度 | 室溫900℃：30℃/sec |
外形尺寸 | 950 X 350 X 530 mm |
重量 | 45Kg |
標準配置 | 氣路總成一套(tao)（含真空壓(ya)力表）石(shi)英管一支、高溫(wen)手套(tao)一副。76MM的樣品(pin)石(shi)英架一個。 |
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