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一、操作便捷性:
1、方便的氣路快速(su)連接(jie)口,簡化了流量(liang)控制系統(tong)與其他設備的鏈接(jie)。
2、配(pei)置有三種接口(寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口),方便組(zu)合多種連(lian)接方式。
二、控制智能化:
采用數顯流量顯示儀,配合質量流量控制器,采集數據并控制流量。具有控制精度高,重復性好,響應速度快,穩定可靠等特點(氣體質(zhi)量流(liu)量控制器(qi)) 。
三、使用安全性:
1、采用單向閥技術,使氣體流量(liang)在可控(kong)壓(ya)力(li)范圍內控(kong)制(zhi),安全。
2、采用混(hun)氣灌(guan)裝置,使氣體可以(yi)在充分混(hun)合后導入工作室內(nei),確保不會泄漏。
四、周邊拓展性:
1、該(gai)氣(qi)體質量控(kong)制系統可配(pei)我公(gong)司生產的真(zhen)空/氣(qi)氛管式電(dian)爐及真(zhen)空/氣(qi)氛箱(xiang)式電(dian)爐使用。
2、該氣體(ti)流量控制(zhi)系(xi)統(tong)可以與我公司生產的真空控制(zhi)系(xi)統(tong)組合使用。
3、可(ke)為用(yong)戶(hu)定(ding)制多路(lu)氣(qi)路(lu)產品。
規格 | 產品型號 | 氣路數量 | 流量控制方式 | 連接方式 | 流量計 | 流量范圍 | 精度 | 響應時間 | 工作溫度 | 工作壓力 | 外形尺寸mm | 重量 | 標準配件 |
質量流量 | ZL-02H | 兩路 | 數顯流量控制儀 | 雙卡套接頭 | 質量流量計 | 0-500sccm(標準毫升/分)氮氣(qi)標定(ding) | ±1%F.S | ≤4sec | 5-45℃ | 進氣壓(ya)力0.05-0.3Mpa | 530x670x710 | 48kg | PUΦ6管(guan)/每路2米(mi)Φ4*15mm不銹鋼襯管(guan)5個 |
ZL-03H | 三路 | ||||||||||||
ZL-04H | 四路 |
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